ICP光譜儀具采用等離子光學接口完成消除水平觀測時尾焰的影響、全譜CCD技術和多視角等離子體定位等新技術，有高靈敏度、高精度以及波長范圍寬等特性，在ICP-OES領域開拓了全新的應用，可分析包括ppm級鹵素在內的73個金屬和非金屬元素。
在做定量測量前，必須先做分析線的定義。在Method的LineDefinition窗口中，點擊Method/Analysis/SingleMeasurements測量一個高濃度的標樣后，確定分析線的峰高、背景、積分范圍等相關定量參數。或調入已保存的光譜圖定義以上參數。
然后點擊工作站左邊工具箱中的Analysis按鈕進入分析測量窗口。如果是用自動進樣器進樣，在自動進樣器窗口中點擊F5，按自動進樣器的編輯方法進樣。若要停止進樣，點擊Esc。以上操作可點擊工具欄上相應的快捷鍵。以下是手動進樣的操作過程說明。
把吸樣管放入要測的標樣中，點擊Analysis/MethodMeasurements，選擇要測的標樣名，點擊Measure，測量完成后，點擊Analysis/SampleFinish。然后按順序測完標準系列，再點擊Calculate，回到Method窗口，得到工作曲線。如果不能得到工作曲線，是由于軟件計算出的工作曲線的相關系數小于設定值。
把吸樣管放入要測的樣品中，若測量一次點擊Analysis/SingleMeasurements，若測量多次點擊Analysis/MultipleMeasurements，測量完成后，點擊Analysis/SampleFinish。
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