ICP光譜儀分辨率是光譜分析儀器的重要參數，光譜儀分辨率的高低直接影響儀器性能。光譜儀的分辨率指的是光譜儀的小的分辨精度，就是測試的時候能知道光譜譜線能準確到什么程度。那么影響ICP光譜儀光譜分辨率的主要因素有哪些呢？一般主要有三種——入射狹縫、光柵、探測器，下面為大家分享一下：
一、檢測器
檢測器是光譜儀的核心部分，直接決定了光纖光譜儀的光譜覆蓋范圍、靈敏度、分辨率及信噪比等指標。一般來說，探測器的材料決定了其光譜覆蓋范圍，而探測器的工作原理、制造方法及摻雜材料決定了其靈敏度、覆蓋范圍和信噪比等指標。
二、光柵
光柵將從狹縫入射的光在空間上進行色散，使其光強度成為波長的函數。它是光譜儀進行分光檢測的基礎，是光譜儀的核心部分。對于一個給定的光學平臺和檢測器，我們可以通過選擇不同的光柵來對光譜儀的光譜覆蓋范圍，光譜分辨率和雜散光水平進行額外的控制。
三、入射狹縫
入射狹縫直接影響光譜儀的分辨率和光通量。光譜儀的檢測器終檢測到的是狹縫投射到檢測器上的像，因此狹縫的大小直接影響到光譜儀的分辨率，狹縫越小，分辨率越高，狹縫越大，分辨率越低；另外狹縫是光進入光譜儀的門戶，其大小也直接影響到光譜儀的光通量。狹縫越大，光通量越大，狹縫越小，光通量越小。
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