ICP光譜儀即電感耦合等離子體光譜儀，icp發射光譜法是根據處于激發態的待測元素原子回到基態時發射的特征譜線對待測元素進行分析的方法。icp發射光譜儀主要應用于無機元素的定性及定量分析，光電轉換器件是光電光譜儀接收系統的核心部分，主要是利用光電效應將不同波長的輻射能轉化成光電流的信號。ICP光譜儀廣泛地應用于質量控制的元素分析，超微量元素 的檢測，尤其是在環保領域的水質監測。還可以對常量元素進行檢測，例如組分 的測量中，主要成分的元素測定。
當ICP光譜儀發生故障時，尤其是發生比較復雜的綜合性故障，解決這種故障應該先從比較容易解決的故障入手，如檢修儀器的電路板時，先檢查電阻、電容、二極管等，再檢查集成電路、大功率模塊、微處理器IC等。
隨著電腦在ICP光譜儀中的應用，使儀器的檢測水平大幅提高，功能更智能，許多故障都可以通過電腦自帶的診斷程序進行全面檢測。因此，當光譜儀出現問題時，我們可以先用電腦檢查軟件程序運行是否正常，再分析硬件是否有問題。ICP光譜儀一般都會有一套完整的體系，有許多輔助設備，當系統出現故障時，應先檢查電腦、穩壓器等輔助設施，再看儀器主機運行情況。
任何儀器都是靠人來操作的，所以在儀器出現異常時，首先判斷是否存在人為的問題。如在操作程序時是否輸錯數據，忘記打開某個開關，看錯某些標志等。在嚴格按操作程序操作，并排除人為誤操作的基礎上，再分析儀器自身運行是否存在問題。
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